氧化铟锡（ITO）薄膜因其优异的性能，在显示设备、太阳能电池、气体传感器等中被广泛应用。溅射法制备优质ITO薄膜需要ITO靶材具有高纯度、高致密度、组织均匀和良好的导电性，选择何种原料粉末制备高质量的ITO靶材一直是一个备受争议的话题。为了获取高质量...