将4H-SiC衬底上的Ti/TiN/Pt电极样品在800℃真空环境下退火20 min,形成欧姆接触，再分别在600℃、700℃、800℃、900℃下老化1 h和在600℃下分别老化1 h、2 h、4 h、8 h,通过测试电极的比接触电阻、表面形貌和元...