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SG柔性工具抛光光学玻璃研究
华侨大学制造工程研究院
|
赵子龙
陆静
开通知网号
光学玻璃因具有均匀的光学性能和稳定的物理、化学性能而广泛应用于航空航天、微电子等领域,然而,实现光学玻璃高效低损伤抛光仍然面临挑战。化学机械抛光在玻璃加工中应用广泛,但通常需要采用有毒有害的抛光液,容易对环境造成污染,为此本研究提出了一种用于光学玻璃...
领 域:
无机化工;
关键词:
光学玻璃;
抛光;
反应去除;
格 式:
PDF原版;EPUB自适应版
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